Het slit valve van de XGT-serie is geschikt voor het verdeelventiel tussen de load lock chamber en de overdrachtkamer en tussen de overdrachtkamer en de proceskamer in productieapparatuur voor halfgeleiders, enz.
XLA-2, aluminium hoekzittingsventiel voor hoogvacuüm, normaal gesloten/balgafdichting
Serie: XL#2
SKU: XLA-16-2
De hoogvacuüm hoekzittingsventielen uit de XL-serie bieden een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de temperatuur gelijkmatig over de volledige oppervlakte van de body wordt gespreid en de gassen binnen het ventiel minder condenseren. Het ventiel bevat geen zware metalen zoals Ni (nikkel) of Cr (chroom), terwijl de lage sputter opbrengst ook helpt om de vervuiling van de halfgeleiderwafers zo laag mogelijk te houden.
XLAV-2, aluminium hoekzittingsventiel voor hoogvacuüm, normaal gesloten/balgafdichting met magneetventiel
Serie: XL#2
SKU: XLAV-16G-2M9//-5G-Q
De hoogvacuüm hoekzittingsventielen uit de XL-serie bieden een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de temperatuur gelijkmatig over de volledige oppervlakte van de body wordt gespreid en de gassen binnen het ventiel minder condenseren. Het ventiel bevat geen zware metalen zoals Ni (nikkel) of Cr (chroom), terwijl de lage sputter opbrengst ook helpt om de vervuiling van de halfgeleiderwafers zo laag mogelijk te houden.
XLS, hoekzittingsventiel voor hoogvacuüm, elektromagnetisch type, balgbalans
Serie: XLS
SKU: XLS-16-5D-Q
De hoogvacuüm hoekzittingsventielen uit de XL-serie bieden een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de temperatuur gelijkmatig over de volledige oppervlakte van de body wordt gespreid en de gassen binnen het ventiel minder condenseren. Het ventiel bevat geen zware metalen zoals Ni (nikkel) of Cr (chroom), terwijl de lage sputter opbrengst ook helpt om de vervuiling van de halfgeleiderwafers zo laag mogelijk te houden.
De soepel ontluchtende ventielen van de XVD2-serie zijn N.C.-ventielen met (mannelijke en vrouwelijke) VCR- en Swagelok-aansluitingen. De poortgrootte voor de hoofdtoevoer bedraagt 1/4"; de opening is 3 mm groot. Qua materialen wordt gebruikgemaakt van SUS316L (body en balg), SUS304 (membraan) en FKM (ventiel en externe afdichting).