• Gasket with wiper: protection of bellows
• Rubber cushions for opening and closing: impact absorption
• End lock mechanism
• Service life of two million cycles
Het slit valve van de XGT-serie is geschikt voor het verdeelventiel tussen de load lock chamber en de overdrachtkamer en tussen de overdrachtkamer en de proceskamer in productieapparatuur voor halfgeleiders, enz.